1999年02月号

特集「材料・分析技術の応用と展開」

三菱電機技報 1999年02月号

巻頭言
“材料・分析技術の応用と展開”特集に寄せて
巻頭論文
材料・分析技術の現状と展望
特集論文
全14編
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巻頭言

“材料・分析技術の応用と展開”特集に寄せて

巻頭論文

材料・分析技術の現状と展望

特集論文
(全14編)

半導体用0.1μmホールパターン形成技術“RELACS”

豊島利之/ 保田直紀/ 石橋健夫/ 杉野幹二/ 片山圭一

溶液気化CVD法による次世代メモリ用BSTキャパシタ膜

松野 繁/ 佐藤剛彦/ 内川英興/ 堀川 剛/ 川原孝昭

半導体パッケージ用プリント基板

岡 誠次/ 古橋靖夫/ 澤田祐子/ 畑中康道/ 山口明彦

透過型電子顕微鏡による半導体デバイスの評価解析技術

福本晃二/ 橋川直人/ 村田直文/ 池野昌彦/ 益子洋治

超LSIゲート絶縁膜の構造・欠陥解析技術

黒川博志/ 河瀬和雅/ 寺田久美/ 谷村純二/ 上原 康

位置決め機能付き原子間力顕微鏡によるウェーハ表面微小欠陥解析

藤野直彦/ 小林淳二

光通信デバイス用導波路グレーティング技術

吉新喜市/ 高林正和/ 竹谷 元/ 前川武之/ 宮下章志/ 内川英興

携帯電話機用バルク超音波方式バンドパスフィルタ

山田 朗/ 前田智佐子/ 内川英興/ 三須幸一郎/ 和高修三

携帯情報機器における外装筐体薄肉軽量化材料

山田 祥/ 藤田章洋/ 鈴木 渉/ 立野宏明

ピッチ系CFRPによる衛星構体及び搭載アンテナの寸法安定性の向上

尾崎毅志/ 樺島重憲

縮小型避雷器用新酸化亜鉛素子

高田良雄/ 加東智明/ 和田 理/ 小林正洋/ 古瀬直美

フレームレス中小型モータ用モールド樹脂

伊藤浩美/ 三村研史/ 藤岡弘文/ 八代長生/ 鈴木睦治

HFC対応冷凍・空調機の高信頼化技術

外山 悟/ 榎本順三/ 三木伸介

電気機器用材料における最新の微小分析技術

和田 理/ 黒木洋志/ 三木伸介/ 黒川博志

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