サーボシステムパートナー 株式会社ハーモニック・ドライブ・システムズ

特長

精密制御用減速機ハーモニックドライブ®とACサーボモータをドッキングしたACサーボアクチュエータ

1. ●RSF superminiシリーズ・FHA-C miniシリーズは超小型・軽量・高トルクを特長とし、各種機構のダウンサイジングを実現します。
2. ●SHAシリーズは扁平・中空構造という形状特長を持ち、中央部の貫通穴に配管、配線、レーザー光等を通すことができるので、シンプル、コンパクトな装置設計を実現します。
3. ●FPAシリーズは高性能遊星ギヤを内蔵し、特に直交遊星ギヤを採用の軸でサイズ・性能の向上に貢献します。
4. ●MMAシリーズはAC中空サーボモータで、モータをオフセットさせることなく配線や配管を回転中心にレイアウトできます。

用途例

• 用途：テーブル旋回駆動部・アライメント駆動部、小型ステージの位置調整など
• 市場：半導体製造装置・FPD製造装置など
• その他用途例は右記URLをご参照ください。URL：https://www.hds.co.jp/products/application/

仕様

SHAシリーズ

FHA-C miniシリーズ

RSF superminiシリーズ

FPAシリーズ

MMAシリーズ

システム構成

三菱電機関連製品

インタフェース				パルス列 アナログ電圧
コントローラ	MX-R PLC CPU MX-F IPC	PLC CPU	PLC CPU	PLC CPU
	RD78G FX5-SSC-G SWM-G	RD77MS RnMTCPU QD77MS Q17nDSCPU FX5-SSC-S LD77MS MR-MC Q173SCCF	RD77GF QD77GF   MR-EMnGF
サーボアンプ	MR-J5-G SHA/MMA/FPAのみ	MR-J5-B MR-J4-B	MR-J4-GF	MR-J5-A MR-J4-A

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