サーボシステムパートナー ファゴール・オートメーション・ジャパン株式会社
オープンタイプアブソリュートリニアエンコーダ
L2AMH EXA, EXG, EXTシリーズ
特長
ダブルABSトラック＋INCトラックの高精度アブソリュートリニアエンコーダ
【L2AMH EXAシリーズ（粘着モデル）】
【L2AMH EXGシリーズ（ガイド付きモデル）】
【L2AMH EXTシリーズ（テンション付きモデル）】
【ダブルABSトラック+INCトラックシステム】
【取付けサポート機能】
用途例
半導体製造装置、大規模科学施設、計測学、積層造形 各種位置決め装置に適用可能です。
仕様
| シリーズ名 | EXA | EXG | EXT |
|---|---|---|---|
| 精度等級 | ±10 μm | ±10 μm | ±5 μm |
| 内挿精度 | <±20 nm | <±20 nm | <±20 nm |
| 分解能 | 0.01 μm/0.05 μm | 0.01 μm/0.05 μm | 0.01 μm/0.05 μm |
| 最大測定長 | 25,040 mm | 6,040 mm | 30,040 mm |
| 取付方法 | 粘着モデル | ガイド付きモデル | テンション付きモデル |
システム構成
三菱電機関連製品
| インタフェース |
 |
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 |
パルス列 アナログ電圧 |
|---|---|---|---|---|
| コントローラ |
|
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| サーボアンプ |
|
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お問い合わせ
ファゴール・オートメーション・ジャパン株式会社
-
TEL：03-6458-0862
-
FAX：03-6458-0863
-
MAIL：info@fagorautomation.jp
サポートエリア
- 日本
- 北米
- 欧州
- 中国
- 韓国
- 台湾
- インド
- シンガポール
■海外ネットワーク 50ヵ国 30支社
クローズドタイプ アブソリュートリニアエンコーダ
G2AMシリーズ
特長
汚れに強い高精度アブソリュートリニアエンコーダ
【Gシリーズ（標準タイプ）】
【Sシリーズ（スリムタイプ）】
【SVシリーズ（マウンティングサポート付）】
【ABSトラック＋INCトラックシステム】
【モニタリングツール】
【クリーニングツール】
用途例
工作機械、半導体製造装置、大規模科学施設、計測学、積層造形 各種位置決め装置に適用可能です。
仕様
| シリーズ名 | G2AM | S2AM, SV2AM |
|---|---|---|
| 測定 | インクリメンタル：20 μmピッチ透過式シングルフィールドスキャニング アブソリュート：バイナリコード透過式 |
|
| ガラス熱膨張係数 | αtherm：約 8 ppm/K | |
| 測定分解能 | 0.01 μm | |
| 精度等級 | ±3 μm/m, ±5 μm/m | |
| 最大速度 | 180 m/min | |
| 測定長 | 140・240・340・440・540・640・740・840・940・1040・1140・1240・1340・1440・1540・1640・1740・1840・2040・2240・2440・2640・2840・3040・3240 | 70・120・170・220・270・320・370・420・470・520・570・620・670・720・770・820・870・920・1020・1140・1240・1340・1440・1540・1640・1740・1840・2040 |
システム構成
三菱電機関連製品
| インタフェース |
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|
|
パルス列 アナログ電圧 |
|---|---|---|---|---|
| コントローラ |
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| サーボアンプ |
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お問い合わせ
ファゴール・オートメーション・ジャパン株式会社
-
TEL：03-6458-0862
-
FAX：03-6458-0863
-
MAIL：info@fagorautomation.jp
サポートエリア
- 日本
- 北米
- 欧州
- 中国
- 韓国
- 台湾
- インド
- シンガポール
■海外ネットワーク 50ヵ国 30支社