Factory Automation

サーボシステムパートナー ハイデンハイン株式会社

ハイデンハイン株式会社（heiden,HEIDEN）

オープンタイプアブソリュートリニアエンコーダ
LIC 419Mシリーズ、LIC 319Mシリーズ、LIC 219Mシリーズ

特長

オープンタイプの高精度アブソリュートリニアエンコーダ LIC 419Mシリーズ

シリーズ名
LC195M
LIC 4193M 最大測定長3mまで可能。分解能1nm, 5nmまたは10nm。スケールの材質がガラスまたはガラスセラミックの高精度タイプ。
LIC 4195M 最大測定長28mまで可能。分解能1nm, 5nmまたは10nm。両端をテンション留め。
LIC 4197M 最大測定長6mまで可能。分解能1nm, 5nmまたは10nm。中央クランプ留め。
LIC 4199M 最大測定長1mまで可能。分解能1nm, 5nmまたは10nm。直接貼付。

オープンタイプの汎用アブソリュートリニアエンコーダ LIC 319Mシリーズ※

シリーズ名
LC495M
LIC 3197M 最大測定長10mまで可能。分解能10nm。中央クランプ留め。
LIC 3199M 最大測定長10mまで可能。分解能10nm。直接貼付。

LIC 319MシリーズはMELSERVO-J5シリーズでの対応となります。

オープンタイプの汎用アブソリュートリニアエンコーダ LIC 219Mシリーズ

シリーズ名
LC495M
LIC 2197M 最大測定長3mまで可能。分解能100nmまたは50nm。中央クランプ留め。
LIC 2199M 最大測定長3mまで可能。分解能100nmまたは50nm。直接貼付。

仕様

LIC 419Mシリーズ

シリーズ名 LIC 4193M LIC 4195M LIC 4197M LIC 4199M
精度等級 ±3μm / ±5μm ±5μm ±3μm / ±5μm / ±15μm ±3μm / ±15μm
狭ピッチ精度 ≦±0.275μm/10mm ≦±0.75μm/50mm（標準値）
分解能 1nm, 5nm, 10nm
最大測定長 3,040mm
10,040mm：5nmの場合
20,040mm：10nmの場合
6,040mm 1,020mm
スケール材質 ガラスまたは
ガラスセラミック		 スチール
取り付け方法 接着テープ アルミホルダテンション
を掛け固定		 アルミホルダ
中央クランプ留め		 接着テープ

LIC 319Mシリーズ

シリーズ名 LIC 3197M LIC 3199M
精度等級 ±15μm※
分解能 10nm
最大測定長 10m
スケール材質 スチール
取り付け方法 アルミホルダ中央クランプ留め 粘着テープ

±5μm 後続電子部で直線誤差補正後

LIC 219Mシリーズ

シリーズ名 LIC 2197M LIC 2199M
精度等級 ±15μm
分解能 100nmまたは50nm
最大測定長 3,020m
スケール材質 スチール
取り付け方法 アルミホルダにクランプ留め 接着テープ

他の分解能をご希望の際にはハイデンハインまでお問い合わせください。

用途例

LIC 419Mシリーズ LIC 319Mシリーズ LIC 219Mシリーズ
半導体製造装置
FPD製造装置
ガントリー機構を使った装置
アライメント装置
リニアドライブを使用した装置
FPD製造装置

FPD製造装置

ガントリー機構を使った装置

ガントリー機構を使った装置

システム構成

システム構成　イメージ

三菱電機関連製品

インタフェース
パルス列
アナログ電圧
コントローラ
  • MX-R
  • PLC CPU
  • MX-F
  • IPC
  • PLC CPU
  • PLC CPU
  • PLC CPU
  • RD78G
  • FX5-SSC-G
  • SWM-G
  • RD77MS
  • RnMTCPU
  • QD77MS
  • Q17nDSCPU
  • FX5-SSC-S
  • LD77MS
  • MR-MC
  • Q173SCCF
  • RD77GF
  • QD77GF
  •  
  • MR-EMnGF
サーボアンプ
  • MR-J5-G
  • MR-J5-B
  • MR-J4-B
  • MR-J4-GF
  • MR-J5-A
  • MR-J4-A

お問い合わせ

ハイデンハイン株式会社

サポートエリア
  • 日本
  • 北米
  • 欧州
  • 中国
  • 韓国
  • 台湾
  • インド
  • シンガポール

その他　世界中の50か所以上の拠点で対応可能

ハイデンハイン株式会社（heiden,HEIDEN）

シールドタイプアブソリュートリニアエンコーダ
LC 195Mシリーズ、LC 495Mシリーズ

特長

標準型ハウジングの高精度アブソリュートリニアエンコーダ LC 195Mシリーズ

シリーズ名
LC195M
LC 195M 最大測定長4mまで可能。分解能1nmまたは10nm。

小型ハウジングの高精度アブソリュートリニアエンコーダ LC 495Mシリーズ

シリーズ名
LC495M
LC 495M 最大測定長2mまで可能。分解能1nmまたは10nm。

仕様

シリーズ名 LC 195M LC 495M
精度等級 ±3μm（2,040mmまで）または±5μm
分解能
±3μm：1nm
±5μm：10nm
最大測定長
4,240mm：10nmの場合
2,040mm：1nmの場合
 2,040mm：分解能に関わらず
保護等級 IP53もしくはIP64（圧縮空気注入時）

用途例

LC 195Mシリーズ LC 495Mシリーズ
半導体製造装置
FPD製造装置
ガントリー機構を使った装置
アライメント装置
リニアドライブを使用した装置
FPD製造装置

FPD製造装置

ガントリー機構を使った装置

ガントリー機構を使った装置

システム構成

システム構成　イメージ

三菱電機関連製品

インタフェース
パルス列
アナログ電圧
コントローラ
  • MX-R
  • PLC CPU
  • MX-F
  • IPC
  • PLC CPU
  • PLC CPU
  • PLC CPU
  • RD78G
  • FX5-SSC-G
  • SWM-G
  • RD77MS
  • RnMTCPU
  • QD77MS
  • Q17nDSCPU
  • FX5-SSC-S
  • LD77MS
  • MR-MC
  • Q173SCCF
  • RD77GF
  • QD77GF
  •  
  • MR-EMnGF
サーボアンプ
  • MR-J5-G
  • MR-J5-B
  • MR-J4-B
  • MR-J4-GF
  • MR-J5-A
  • MR-J4-A

お問い合わせ

ハイデンハイン株式会社

サポートエリア
  • 日本
  • 北米
  • 欧州
  • 中国
  • 韓国
  • 台湾
  • インド
  • シンガポール

その他　世界中の50か所以上の拠点で対応可能

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オープンタイプアブソリュートリニアエンコーダ　MC 15Mシリーズ
アブソリュート組込み型角度エンコーダ　MCR 15Mシリーズ

特長

オープンタイプの汎用アブソリュートリニアエンコーダ MC 15Mシリーズ

シリーズ名
MC 15M
MC 15M MK 最大測定長6140mmまで可能。分解能100nm, 50nm。直接貼付。
MC 15M MP 最大測定長6140mmまで可能。分解能100nm, 50nm。中央クランプ留め。

アブソリュート組込み型光学式角度エンコーダ MCR 15Mシリーズ※

シリーズ名
MCR 15M
MCR 15M ドラムタイプ 外径50mm～350.23mmまでの標準サイズを用意。ドラムタイプ。
ドラム材質はアルミまたはスチールから選択。
MCR 15M リングタイプ 外径59.93mm～350.23mmまでの標準サイズを用意。スチールリングタイプ。
MCR 15M 部分角タイプ 最小75mm～1500mmまで（これより大きい計はMC 15が適用可能）
75mm以下の径をご希望の場合はお問い合わせください。
接着テープにより取付面に直接貼付のスケールテープタイプ。

ご検討の際は、三菱電機株式会社の営業窓口までお問い合わせください。
なお、MR-J4の場合は、三菱電機製品カタログに記載のないMR-J4特殊品での対応となります。

仕様

MC 15Mシリーズ

シリーズ名 MC 15M MK MC 15M MP
精度等級 15μm/m
分解能 100nm, 50nm
最大測定長 6140mm
スケール材質 スチール
取り付け方法 アルミホルダ中央クランプ留め 粘着テープ

MCR 15Mシリーズ

シリーズ名 MCR 15M
分解能 22bit～25bit ※径により異なります
最大測定長 お問い合わせください
スケール材質 スチール
取り付け方法 ドラムタイプボルト固定 リングタイプ圧入 スケールテープ貼付

用途例

    MC 15Mシリーズ
    半導体製造装置
    FPD製造装置
    ガントリー機構を使った装置
    アライメント装置
    リニアドライブを使用した装置
FPD製造装置
MCR 15Mシリーズ

広い取付公差による組み込み易さと多様な径サイズに対応し、以下のようなアプリケーションにお使いいただけます。

  1. ●ロータリテーブル
  2. ●ダイレクトドライブモータ
  3. ●ロボット 等

システム構成

システム構成　イメージ

三菱電機関連製品

インタフェース
パルス列
アナログ電圧
コントローラ
  • MX-R
  • PLC CPU
  • MX-F
  • IPC
  • PLC CPU
  • PLC CPU
  • PLC CPU
  • RD78G
  • FX5-SSC-G
  • SWM-G
  • RD77MS
  • RnMTCPU
  • QD77MS
  • Q17nDSCPU
  • FX5-SSC-S
  • LD77MS
  • MR-MC
  • Q173SCCF
  • RD77GF
  • QD77GF
  •  
  • MR-EMnGF
サーボアンプ
  • MR-J5-G
  • MR-J5-B
  • MR-J4-B
  • MR-J4-GF
  • MR-J5-A
  • MR-J4-A

お問い合わせ

ハイデンハイン株式会社

サポートエリア
  • 日本
  • 北米
  • 欧州
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  • インド
  • シンガポール

その他　世界中の50か所以上の拠点で対応可能

関連リンク