サーボシステムパートナー 株式会社マグネスケール

フィードバックスケール
レーザスケール BL50Hシリーズ

特長

1. ●高分解能・高内挿精度・低ノイズ
   信号波長0.4 μmを高内挿分割し0.001 μm分解能を実現
2. ●高速応答性
   三菱電機シリアル通信により3,000 mm/sにて制御可能
3. ●広い角度許容とクリアランス
   スケールとセンサ間距離3.4 mm（ZEROガラス使用時）にて取付が容易
4. ●選べるスケール材質
   ZEROガラス（0.1×10^-6）無アルカリガラス（3.7×10^-6）

仕様

用途例

システム構成

三菱電機関連製品

インタフェース				パルス列 アナログ電圧
コントローラ	MX-R PLC CPU MX-F IPC	PLC CPU	PLC CPU	PLC CPU
	RD78G FX5-SSC-G SWM-G	RD77MS RnMTCPU QD77MS Q17nDSCPU FX5-SSC-S LD77MS MR-MC Q173SCCF	RD77GF QD77GF   MR-EMnGF
サーボアンプ	MR-J5-G	MR-J5-B MR-J4-B	MR-J4-GF	MR-J5-A MR-J4-A

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フィードバックスケール
マグネスケール SR67A/SR27Aシリーズ

特長

高剛性・耐環境性に優れた磁気式アブソリュートフィードバックスケール

1. ●磁気式では史上初の絶対位置検出（アブソリュート）スケール
2. ●5 nmの高分解能
3. ●磁気式ならではの優れた耐久性、結露・油汚れに強い
4. ●鉄と同じ線膨張係数
5. ●高剛性のため、衝撃・振動に強い（SR67A）

耐結露・耐油性能

高分解能

仕様

品番	SR27A（スリムタイプ）	SR67A（高剛性タイプ）
最高分解能	5 nm	5 nm
精度（20℃）	（3＋3L/1,000） μmp-pまたは （5＋5L/1,000） μmp-p L=有効長	（3＋3L/1,000） μmp-pまたは （5＋5L/1,000） μmp-p L=有効長
有効長	70 mm～2,040 mm	140 mm～3,640 mm
最大応答速度	200 m/min	200 m/min
線膨張係数	（12±1）×10-6/℃	（12±1）×10-6/℃
耐振動	150 m/s2（50 Hz～3,000 Hz）	250 m/s2（50 Hz～2,000 Hz）
耐衝撃	350 m/s2（11 ms）	450 m/s2（11 ms）
出力方式	アブソリュート	アブソリュート

用途例

産業機器

1. ●リニアモーター
2. ●XYステージ
3. ●実装機
4. ●3Dプリンタ
5. ●インクジェットプリンタ
6. ●プローバー
7. ●ボンダー
8. ●組立装置など

システム構成

三菱電機関連製品

インタフェース				パルス列 アナログ電圧
コントローラ	MX-R PLC CPU MX-F IPC	PLC CPU	PLC CPU	PLC CPU
	RD78G FX5-SSC-G SWM-G	RD77MS RnMTCPU QD77MS Q17nDSCPU FX5-SSC-S LD77MS MR-MC Q173SCCF	RD77GF QD77GF   MR-EMnGF
サーボアンプ	MR-J5-G	MR-J5-B MR-J4-B	MR-J4-GF	MR-J5-A MR-J4-A

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フィードバックスケール
デジルーラ SL710・PL101-RM/RHMシリーズ

特長

非接触型デジルーラ SL710・PL101-RM/RHMシリーズ

1. ●磁気検出方式
2. ●小型・リボン形状で、狭いスペースにも取付可能
3. ●ヘッドとスケールユニットは非接触型
4. ●耐環境性良好：汚れ・油等に強く、また振動・衝撃に対しても強靭
5. ●有効長50 mm～100,000 mmのラインナップ

スケール：SL710

検出ヘッドケーブルユニット：PL101-RM/RHM

仕様

用途例

金属・木材・石材加工機械からマテハン・繊維・印刷機まで、広くご使用いただけます。

システム構成

三菱電機関連製品

インタフェース				パルス列 アナログ電圧
コントローラ	MX-R PLC CPU MX-F IPC	PLC CPU	PLC CPU	PLC CPU
	RD78G FX5-SSC-G SWM-G	RD77MS RnMTCPU QD77MS Q17nDSCPU FX5-SSC-S LD77MS MR-MC Q173SCCF	RD77GF QD77GF   MR-EMnGF
サーボアンプ	MR-J5-G	MR-J5-B MR-J4-B	MR-J4-GF	MR-J5-A MR-J4-A

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フィードバックスケール
SmartSCALE SQ47/SQ57シリーズ

特長

過酷な環境でさらに強く、エアパージ不要の高精度・高分解能 SmartSCALE

“5 nm×IP67”

耐環境性能の向上と5 nmの高分解能を達成した、直線磁気スケールの新シリーズ「SmartSCALE」。
超高精度加工を実現する高分解能「5 nm」と、結露や油・冷却水が伴う悪環境において、常に安定した位置検出を可能にする耐環境性「IP67」を両立する、新常識のスケール。

1. ●5 nmの高分解能

仕様

品番	SQ47 / SQ57
最高分解能	5 nm
精度（20℃）	±（1.5＋1.5L/1,000） μm　L＝有効長
有効長	90 mm～6,240 mm / 70 mm～6,270 mm
最大応答速度	200 m/min
保護等級	IP67
線膨張係数	（12±1）×10-6/℃
出力方式	アブソリュート
耐振動	250 m/s2（50 Hz～2,000 Hz）
耐衝撃	980 m/s2（11 ms）

用途例

産業機器

1. ●リニアモーター
2. ●XYステージ
3. ●実装機
4. ●3Dプリンタ
5. ●インクジェットプリンタ
6. ●プローバー
7. ●ボンダー
8. ●組立装置など

システム構成

三菱電機関連製品

インタフェース				パルス列 アナログ電圧
コントローラ	MX-R PLC CPU MX-F IPC	PLC CPU	PLC CPU	PLC CPU
	RD78G FX5-SSC-G SWM-G	RD77MS RnMTCPU QD77MS Q17nDSCPU FX5-SSC-S LD77MS MR-MC Q173SCCF	RD77GF QD77GF   MR-EMnGF
サーボアンプ	MR-J5-G	MR-J5-B MR-J4-B	MR-J4-GF	MR-J5-A MR-J4-A

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フィードバックスケール
ロータリマグネスケール　RU77 / RS97

特長

耐環境性に優れた磁気式アブソリュートロータリマグネスケール

RU77（ユニットタイプ）

1. ●磁気方式のため、結露・油などの悪環境でも使用可能
2. ●厚さが最大42 mmのため、省スペース化が実現可能
3. ●内部カップリングの採用により取付自由度UP

RS97（オープンタイプ）

1. ●磁気方式のため、結露・油などの悪環境でも使用可能
2. ●貫通穴が大きく配管・配線を通すことが可能
3. ●2ヘッドの採用により心振れの影響が最小限

仕様

RU77 / RS97は三菱電機製品カタログに記載のないMR-J4特殊品での対応となります。

RS97はMR-J5未対応です。
ご検討の際は、三菱電機株式会社の営業窓口までお問い合わせください。

用途例

産業機器

1. ●DDモータ
2. ●NC円テーブル
3. ●回転ステージ

システム構成

三菱電機関連製品

インタフェース				パルス列 アナログ電圧
コントローラ	MX-R PLC CPU MX-F IPC	PLC CPU	PLC CPU	PLC CPU
	RD78G FX5-SSC-G SWM-G	RD77MS RnMTCPU QD77MS Q17nDSCPU FX5-SSC-S LD77MS MR-MC Q173SCCF	RD77GF QD77GF   MR-EMnGF
サーボアンプ	MR-J5-G	MR-J5-B MR-J4-B	MR-J4-GF	MR-J5-A MR-J4-A

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