Factory Automation

サーボシステムパートナー 株式会社ミツトヨ

株式会社ミツトヨ（mitsutoyo）

電磁誘導式&光学式 アブソリュートスケール
耐環境性に優れた ABS ST700シリーズ/長尺・高分解能 ABS ST1300シリーズ

特長

MELSERVO-J4対応高性能スケールをラインナップ

【ABS ST748A/ABS ST748AL】

  1. ●ゴミ・汚れに強い電磁誘導検出式センサの長所を生かし、幅広いアプリケーションに対応
  2. ●取扱いに優れたステンレスベーススケール
  3. ●分解能0.1μm、有効測定長100～6000mm、最大応答速度5m/s
ABS ST748A/ABS ST748AL

【ABS ST1342A/ABS ST1341A】

  1. ●高速・高分解のアブソリュートテープスケール
  2. ●新検出原理により、光電式スケール最高レベルのロバスト性を実現
  3. ●分解能0.001μm or 0.01μm、有効測定長10～12000mm、最大応答速度8m/s
ABS ST1342A/ABS ST1341A

仕様

項目/型式 ABS ST748A/ABS ST748AL ABS ST1341A/ABS ST1342A
検出方式 電磁誘導式 光学式
スケールタイプ スケールベース メタルテープ
両端固定仕様 中央固定仕様 両面テープ仕様
最大有効長 6m 12m 6m 3m
指示精度 （5＋5L/1000）μm
L：有効測定長（mm）		 ±5μm（～1m）
±5μm/m（1.1m～）		 システムパラメータ有：
±5μm（～1m）
±5μm/m（1.1m～）
システムパラメータ無：
±10μm（～1m）
±10μm/m（1.1m～） 		±5μm（～1m）
±5μm/m（1.1m～）
熱膨張係数 12.0×10-6/K
（鉄相当の部材取付時）		 ≈10×10-6/K
耐振動特性
（55～2000Hz）		 300m/s2 100m/s2
耐衝撃性
（1/2sin, 11ms）		 500m/s2 200m/s2
使用温度・
湿度範囲		 0～50℃・20～80%RH
（結露なきこと）		 0～50℃・20～80%RH（結露なきこと）
保存温度・
湿度範囲		 -20～70℃・20～80%RH
（結露なきこと）		 -20～70℃・20～80%RH（結露なきこと）
分解能 0.1μm
（0.05μm：特注対応）		 0.01μm ：ABS ST1341A
0.001μm ：ABS ST1342A
最大応答速度 5m/s 8m/s
検出器サイズ 44（D）×28（W）×11（H）mm 40（D）×22（W）×23（H）mm

取付仕様や特注でのご相談等お気軽にお問い合わせください。

用途例

リニアモータを用いた、タンデム制御

タンデム制御　イラスト

リニアモータを用いた、マルチヘッド制御

マルチヘッド制御　イラスト

株式会社ミツトヨ製のリニアエンコーダを用いて、高精度な位置決めと複雑な制御を行うことが可能です。
半導体製造装置やFPD製造装置をはじめ様々なアプリケーションで採用いただいております。

システム構成

システム構成

三菱電機関連製品

インタフェース
パルス列
アナログ電圧
コントローラ
  • MX-R
  • PLC CPU
  • MX-F
  • IPC
  • PLC CPU
  • PLC CPU
  • PLC CPU
  • RD78G
  • FX5-SSC-G
  • SWM-G
  • RD77MS
  • RnMTCPU
  • QD77MS
  • Q17nDSCPU
  • FX5-SSC-S
  • LD77MS
  • MR-MC
  • Q173SCCF
  • RD77GF
  • QD77GF
  •  
  • MR-EMnGF
サーボアンプ
  • MR-J5-G
  • MR-J5-B
  • MR-J4-B
  • MR-J4-GF
  • MR-J5-A
  • MR-J4-A

お問い合わせ

株式会社ミツトヨ

サポートエリア
  • 日本
  • 北米
  • 欧州
  • 中国
  • 韓国
  • 台湾
  • インド
  • シンガポール
株式会社ミツトヨ（mitsutoyo）

アッセンブリ形・アブソリュートスケール
AT1300-Sタイプ（高剛性）/AT1300-Hタイプ（高精度）

特長

CNC工作機械向けに高剛性・高精度の2タイプをラインナップ

【ABS AT134□(A)-S 高剛性タイプ】

  1. ●耐振動特性 196m/s2(20G)、耐衝撃性 343m/s2(35G)を実現
  2. ●分解能0.001/0.01/0.05μm、有効測定長100～2,200mm
    最大応答速度3,000mm/s
ABS AT134□(A)-S 高剛性タイプ

【ABS AT134□(A)-H 高精度タイプ】

  1. ●精度の再現性や温度特性に優れ、高精度で安定した位置決めを実現
  2. ●分解能0.001/0.01/0.05μm、有効測定長100～1,000mm
    最大応答速度3,000mm/s
ABS AT134□(A)-H 高精度タイプ

仕様

項目

符号

 高剛性タイプ 高精度タイプ
ABS AT13□□(A)-S ABS AT13□□(A)-H
検出方式 光電式ABSリニアエンコーダ
スケール本体の取り付け方式 多点弾性固定 3 or 5点 弾性固定
温度変化に対する伸びの基点位置 有効測定長の中央
有効測定長（Lo）
  • 19種類：
  • 100, 200, 300, 400, 500, 600, 700, 800, 900, 1000, 1100, 1200, 1300, 1400, 1500, 1600, 1800, 2000, 2200 mm
  • 15種類：
  • 100, 150, 200, 250, 300, 350, 400, 450, 500, 600, 700, 750, 800, 900, 1000 mm
分解能 0.001 / 0.01 / 0.05 μm
最大応答速度 3,000 mm/s
指示精度（20 ℃） 3＋3Lo/1000（μm） 2＋2Lo/1000（μm）
熱膨張係数 8×10-6/K
耐振動特性 ≦196 m/s2 (55〜2000 Hz) ≦147 m/s2 (55〜2000 Hz)
耐衝撃性 ≦343 m/s2 (1/2 sin 11 ms) ≦196 m/s2 (1/2 sin 11 ms)
供給電源電圧 DC5 V±10%
最大消費電流 270 mA (Max)
使用温度・湿度範囲 0〜50 ℃　20〜80 %RH (非結露)
保存温度・湿度範囲 −20〜70 ℃　20〜80 %RH (非結露)

用途例

リニアモータを用いた、タンデム制御

タンデム制御　イラスト

リニアモータを用いた、マルチヘッド制御

マルチヘッド制御　イラスト

株式会社ミツトヨ製のリニアエンコーダを用いて、高精度な位置決めと複雑な制御を行うことが可能です。
半導体製造装置やFPD製造装置をはじめ様々なアプリケーションで採用いただいております。

システム構成

システム構成

三菱電機関連製品

インタフェース
パルス列
アナログ電圧
コントローラ
  • MX-R
  • PLC CPU
  • MX-F
  • IPC
  • PLC CPU
  • PLC CPU
  • PLC CPU
  • RD78G
  • FX5-SSC-G
  • SWM-G
  • RD77MS
  • RnMTCPU
  • QD77MS
  • Q17nDSCPU
  • FX5-SSC-S
  • LD77MS
  • MR-MC
  • Q173SCCF
  • RD77GF
  • QD77GF
  •  
  • MR-EMnGF
サーボアンプ
  • MR-J5-G
  • MR-J5-B
  • MR-J4-B
  • MR-J4-GF
  • MR-J5-A
  • MR-J4-A

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