三菱電機の電子ビーム加工機は1969年の研究開発着手以来、様々な産業分野において高品位加工を実現する新しいアプリケーションを生み出し続けています。
1969年
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三菱電機中央研究所が電子ビーム加工機の研究開発に着手
1974年
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三菱電子ビーム加工機1号機納入（四国工業技術試験所殿）
自動車変速機用電子ビーム加工機1号機納入
自動車市場へ適用
1985年
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ムービング式※電子ビーム加工機製品化
重工市場へ適用
※真空加工室中で、電子銃が移動しながら加工する方式
1994年
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量産用カセット式電子ビーム加工機製品化
精密部品市場へ適用
1997年
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電子デバイス用電子ビーム加工機製品化
電子デバイス市場へ適用
1998年
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ハイブリッド車電池用ロードロック式電子ビーム加工機製品化
次世代自動車市場への適用
2001年
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三菱電機（株）100％子会社の多田電機（株）応用機工場に製造移管
2005年
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表面改質用電子ビーム加工機製品化
表面改質市場へ適用
2007年
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三菱電機電子ビーム加工機生産累積1,000台達成
2012年
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高速波形制御機能を持つFPC※-EBMを製品化
車載用パワーエレクトロニクス市場へ適用
※Fine Process Control
