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Factory Automation

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電子ビーム加工機の歴史

三菱電機の電子ビーム加工機は1969年の研究開発着手以来、様々な産業分野において高品位加工を実現する新しいアプリケーションを生み出し続けています。

1969年

  • 三菱電機中央研究所が電子ビーム加工機の研究開発に着手

1974年

  • 三菱電子ビーム加工機1号機納入(四国工業技術試験所殿)
    自動車変速機用電子ビーム加工機1号機納入
    自動車市場へ適用

1985年

  • ムービング式電子ビーム加工機製品化
    重工市場へ適用
    ※真空加工室中で、電子銃が移動しながら加工する方式

1994年

  • 量産用カセット式電子ビーム加工機製品化
    精密部品市場へ適用

1997年

  • 電子デバイス用電子ビーム加工機製品化
    電子デバイス市場へ適用

1998年

  • ハイブリッド車電池用ロードロック式電子ビーム加工機製品化
    次世代自動車市場への適用

2001年

  • 三菱電機(株)100%子会社の多田電機(株)応用機工場に製造移管

2005年

  • 表面改質用電子ビーム加工機製品化
    表面改質市場へ適用

2007年

  • 三菱電機電子ビーム加工機生産累積1,000台達成

2012年

  • 高速波形制御機能を持つFPC-EBMを製品化
    車載用パワーエレクトロニクス市場へ適用
    ※Fine Process Control

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