導入事例集

第8世代基板対応の基板搬送用ロボット（ダブルハンド）です。
直動軸と門型閉構造の組み合わせにより、低振動、高速・高精度動作を実現しています。
たわみ補正機構により第8世代基板でも、狭ピッチカセットへの対応が可能です。

第6世代基板対応の基板搬送用ロボット（ダブルハンド）です。
直動軸と門型閉構造の組み合わせにより、低振動、高速・高精度動作を実現しています。

第5世代基板対応の基板搬送用ロボット（ダブルハンド）です。
直動軸と門型閉構造の組み合わせにより、低振動、高速・高精度動作を実現しています。

第3.5〜4.0世代基板対応ロボットはRH-1000G/RC-1000GWシリーズ、 第4.5世代基板対応ロボットはRH-1500Gシリーズです。