応力が加わると抵抗率が変わるピエゾ抵抗効果を利用したセンサ部分と増幅回路をワンチップに集積し、調整抵抗を加えてハイブリッド化（一部ASIC化）した圧力センサ。
センサチップ形成プロセスをドライエッチングにてバルクマイクロマシニング（シリコン単結晶基板そのものに微細構造体を形成する加工）技術により、慣性力で静電容量が変化する構造体をもつセンサチップと信号処理ASICを同一パッケージに収納した加速度センサを取り揃えています。
センサ
概要
特長
圧力センサ
- 増幅回路、温度補償回路内蔵
- 調整抵抗の内蔵により電圧特性の調整不要
- 厚膜抵抗の定数変更によるカスタム仕様対応
- 圧力センサと増幅回路、温度補償回路を信号処理ASIC内蔵し、ワンパッケージ化（10ピンフラット外形）
- 内蔵ROMデータ変更によるカスタム仕様対応（10ピンフラット外形）
加速度センサ
- 小型16ピンSOPパッケージ
- 感度、オフセット電圧調整回路を信号処理ASICに内蔵し、ノイズ除去用コンデンサ以外の外付け部品が不要
- センサ出力は電源レシオメトリック性あり
主な用途
<民生用圧力センサ>
掃除機モーター制御、血圧計、水位検出
<自動車用圧力センサ>
大気圧計測、高度計測
<加速度センサ>
液晶プロジェクタ / カーナビゲーション / 傾斜計 / 産業機器の振動計測 / コンピュータ周辺機器 / モーションキャプチャ / HMD（ヘッドマウントディスプレイ） / アミューズメント機器
