ACサーボ MELSERVO 事例集 サーボ展示場(Pick & Place)

Pick & Place
事例
適用技術:
高速・高精度補間制御、リニアフルクローズド制御、タンデム制御
用途事例:
半導体製造装置、実装機、工作機械
デモ内容:
ダイレクトドライブモータとリニアサーボモータ及び回転型サーボモータを、シンプルモーションユニットとMR-J4サーボアンプで高速・高精度に直線・円弧補間制御、同期制御を行います。
| 使用機器 | |
|---|---|
| リニア駆動X軸 |
リニアサーボモータ LM-H3P3A-12P-CSS0(一次側コイル) LM-H3S30-384-CSS0(二次側磁石) |
| リニア駆動Y軸 (Y1軸、Y2軸) |
リニアサーボモータ LM-H3P3B-24P-CSS0(一次側コイル) LM-H3S30-480-CSS0(二次側磁石) |
| 上下Z軸 (Z1軸、Z2軸、Z3軸) |
サーボモータ HG-AK0336B |
| ターンテーブル(Θ軸) |
ダイレクトドライブモータ TM-RFM002C20 |
| コントローラ |
シンプルモーションユニット RD77MS8 |
| サーボアンプ |
2軸一体サーボアンプ(X軸、Θ軸) MR-J4W-44B 2軸一体サーボアンプ(Y1軸、Y2軸) MR-J4W-77B 基板タイプ3軸一体サーボアンプ(Z1軸、Z2軸、Z3軸) MR-MD213 |