使用機器 | |
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U、V、W軸 | サーボモータ HG-KR053(3台) |
U、V、Wアライメントステージ | IKO製 精密位置決めテーブル SA250M3B/J011G4E009 |
コントローラ | Qシーケンサ Q06UDEHCPU Qモーションコントローラ Q172DSCPU |
サーボアンプ | MR-J4W3-222B(1台) |
ビジョンシステム | COGNEX In-Sight EZ-140 |
表示器 | GT1675M-STBA GT1155-QSBDQ |
RGB入力ユニット | GT16M-R2 |
レーザ変位計 | オプテックス・エフエー製 レーザ変位センサ CD4-85(J) アンプユニット CD4A-N |