Factory Automation

ACサーボ MELSERVO 製品特長

現場の課題はこれで解決!

現場の課題
課題1
課題2
課題3
アライメント装置
解決1

ビジョンシステムで簡単にウエハの現在位置を読み出すことができ、目標位置の補正をして素早く移動することができます。

解決1図
解決2

回転軸にダイレクトドライブモータを使用することにより、高応答、高精度で安定した位置決めを実現します。 低速回転、高トルクでの使用にも最適です。

解決2図
解決3

位置決め中にビジョンシステムの位置データから位置補正する際、再度位置決め始動することなく、目標位置に移動させることができ、タクトタイム短縮が図れます。

解決3図

モデルシステム

機器構成
アプリケーション

機器構成

モーションCPU:Q172DSCPU
シーケンサCPU:Q06UDEHCPU
基本ベース:Q35DB

サーボアンプ:MR-J4-B、MR-J4W2-B
GOT:GOT1000シリーズ

サーボモータ:TM-RFM、LM-H3
入出力ユニット:QX40、QY40P

立ち上げ手順
手順1

サーボアンプの設定をします。

下向き矢印
手順1-図
手順2

モーションコントローラのIPアドレスを設定します。

下向き矢印
手順2-図
手順3

ビジョンシステムのEthernet通信、ビジョンプログラム動作に関するパラメータを設定します。

下向き矢印
手順3-図
手順4

簡単なビジョンシステム専用命令を記述するだけで、ビジョンシステムからの位置データを取り込むことができます。

手順4-図

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