MELSERVO-J4 Solutions vol.03 アライメント装置

現場の課題はこれで解決！

ビジョンシステムで簡単にウエハの現在位置を読み出すことができ、目標位置の補正をして素早く移動することができます。

回転軸にダイレクトドライブモータを使用することにより、高応答、高精度で安定した位置決めを実現します。
低速回転、高トルクでの使用にも最適です。

位置決め中にビジョンシステムの位置データから位置補正する際、再度位置決め始動することなく、目標位置に移動させることができ、タクトタイム短縮が図れます。

モデルシステム

機器構成

モーションCPU：Q172DSCPU	サーボアンプ：MR-J4-B、MR-J4W2-B	サーボモータ：TM-RFM、LM-H3
シーケンサC P U：Q06UDEHCPU	GOT：GOT1000シリーズ	入出力ユニット：QX40、QY40P
基本ベース：Q35DB