試験用 RH-1000GHLC-SA (生産終了) 仕様
仕様
分類 | ||
シリーズ | ||
形名 | ||
環境仕様 | ||
構造 | ||
動作自由度 | ||
上下動作範囲 | mm | |
可搬質量 | kg | |
対象基板サイズ | mm | |
駆動方式 | ||
位置検出方式 | ||
ブレーキ | ||
動作範囲 | ||
第1アーム(J1) | 度 | |
第2アーム(J2) | 度 | |
上下軸(J3) | mm | |
手首旋回(J4) | 度 | |
手首曲げ(J5) | 度 | |
前後(J1,J2,J4) | mm | |
走行(特殊仕様)(J8) | m | |
動作速度(*1) | ||
第1アーム(J1) | 度/s | |
第2アーム(J2) | 度/s | |
上下軸(J3) | mm/s | |
手首旋回(J4) | 度/s | |
手首曲げ(J5) | 度/s | |
前後(J1,J2,J4) | mm/s | |
走行(特殊仕様)(J8) | mm/s | |
位置繰り返し精度(*4) | 本体J1~J5 | mm |
走行(特殊仕様)(J8) | mm | |
許容トルク | 手首曲げ(J5) | Nm |
許容イナーシャ | 手首曲げ(J5) | Nm2 |
排気流量(ダスト吸引)(*6) | 真空吸引 | リットル/min |
周囲温度 | ℃ | |
本体質量 | kg | |
据付姿勢 | ||
接続コントローラ | ||
タイプ1 | ||
タイプ2 | ||
最大リーチ半径[mm] | ||
特別仕様 | ||
用途 |
ロボット本体(大型基板搬送用) |
RH-Gシリーズ (生産終了) |
クリーン:クラス10 (0.3μm)(*5) |
水平多関節形 |
4軸 |
1200 |
最大15 (含ハンド) |
最大1100×1100 |
ACサーボモータ |
アブソリュートエンコーダ |
全軸電磁ブレーキ |
-190~+130 |
+160 |
0~1200 |
±240 |
なし |
1720(オフセット450mm位置) |
1~15(0.5m単位で設定可) |
250 |
230 |
700 |
250 |
なし |
1800(左記速度での直線動作精度 ±3mm)(*3) |
1100 |
土0.3 |
土0.5 |
なし |
なし |
180 |
25土5 |
約590 |
床置き |
水平多関節形 |
床置きタイプ |
第1アーム:500mm、第2アーム:500mm |
クリーン仕様 |
特定用途なし |
*注:2015年10月に生産終了しております。
*1:J1、J2、J4 軸の速度がガラス移載動作時での仕様です。通常の水平関節型ロボットのようにアームを旋回する動作では、可搬質量と速度を変更する必要があります。
*2:前後引抜き速度は、J1 軸中心より450mm 以上離れた位置での最大値です。450mm 未満ですとこの値より小さくなります。
*3:直線動作精度は速度域により変化しますので、ご使用にあたっては、プログラムのACCEL 命令で加速度と減速度の割合を設定ください。( 測定条件: J4 軸回転中心から約1600mm 離れた点の値)
*4:位置繰り返し精度は、JISB8432 に準じます。
*5:流速0.3m/s のダウンフローのある環境下で、ロボット据付面より800mm 以上の位置での値です。
*6:真空流量180リットル/minで,J3全軸部分の内部吸引が必要です。