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Factory Automation

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RH-1000GHWLC-SA

仕様

分類
シリーズ
製品形名
環境仕様
タイプ(=構造)
動作自由度
上下動作範囲 mm
可搬質量 kg
対象基板サイズ mm
駆動方式
位置検出方式
ブレーキ
アーム長 mm
動作範囲    
伸縮アーム1(J1) mm
伸縮アーム2(J2) mm
上下軸(J3) mm
旋回軸(J4)
走行(特殊仕様)(J8) m
動作速度(*1)    
伸縮アーム1(J1) mm/s
伸縮アーム2(J2) mm/s
上下軸(J3) mm/s
旋回軸(J4) 度/s
走行(特殊仕様)(J8) mm/s
位置繰り返し精度(*4) 本体J1~J4 mm
走行(特殊仕様)(J8) mm
排気流量(ダスト吸引)(*3) 真空吸引 リットル/min
周囲温度
本体質量 kg
据付姿勢
接続コントローラ
構造
据付姿勢
最大リーチ半径[mm]
環境仕様
制御形態
用途
ロボット本体(大型基板搬送用)
RC-Gシリーズ (生産終了)
クリーン:クラス10 (0.3μm)(*2)
円筒座標形
4軸 ダブルアーム
1400
最大15+25(*1)(含ハンド)
最大1100×1100
ACサーボモータ
アブソリュートエンコーダ
全軸電磁ブレーキ
420+420
 
-800~+800 (-72.3°~+72.3°)
-800~+800 (-72.3°~+72.3°)
0~1400 (0~+64.1°)
-135~+185
1~10 (0.5m単位で設定可)
 
1800 (125°/s)
1800 (125°/s)
800 (40°/s)
135
1000
土0.2
土0.5
180
25土5
約670
床置き
円筒座標形
床置き
1600mm(伸縮アーム1,2)
クリーン仕様
スタンドアロン
大型基板搬送
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  • 前 前
  • 次 次
  • 最後 最後

*注:2015年10月に生産終了しております。(代替機種:無し)

*1:どちらか片方の伸縮アームに限り、フランジ上に10kg までの増し積が可能です。
標準仕様書「2.2.2 可搬条件」を参照願います。

*2:流速0.3m/s のダウンフローのある環境下で、ロボット据付面より800mm 以上の位置での値です。
ただし、J1,J2,J3,J4 部の内部を規定値以上で真空吸引した場合に限ります。

*3:真空流量180リットル/minで,J1,J2,J3,J4 軸部内部の吸引が必要です。

*4:位置繰り返し精度は、JISB8432 に準じます。