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Factory Automation

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MELFA RH-1000GHDC/RH-1000GJDC (大型基板搬送用)(生産終了)

仕様

分類
シリーズ
製品形名
環境仕様
タイプ(=構造)
動作自由度
上下動作範囲 mm
可搬質量 kg
対象基板サイズ mm
駆動方式
位置検出方式
ブレーキ
動作範囲    
第1アーム(J1)
第2アーム(J2)
上下軸(J3) mm
手首旋回(J4)
手首曲げ(J5)
前後(J1,J2,J4) mm
走行(特殊仕様)(J8) m
動作速度(*1)    
第1アーム(J1) 度/s
第2アーム(J2) 度/s
上下軸(J3) mm/s
手首旋回(J4) 度/s
手首曲げ(J5) 度/s
前後(J1,J2,J4) mm/s
走行(特殊仕様)(J8) mm/s
位置繰り返し精度(*4) 本体J1~J5 mm
走行(特殊仕様)(J8) mm
許容トルク 手首曲げ(J5) Nm
許容イナーシャ 手首曲げ(J5) Nm2
排気流量(ダスト吸引)(*6) ファン排気(J3) mm3/min
真空吸引 リットル/min
周囲温度
本体質量 kg
据付姿勢
接続コントローラ
構造
据付姿勢
最大リーチ半径[mm]
環境仕様
制御形態
用途
ロボット本体(大型基板搬送用)
RH-Gシリーズ (生産終了)
クリーン:クラス10 (0.3μm)(*5)
水平多関節形
4軸
5軸
755
最大15(含ハンド)
最大1100×1100
ACサーボモータ
アブソリュートエンコーダ
全軸電磁ブレーキ
 
-190~+130
+160
0~755
±240
なし
±5
1720(オフセット450mm位置)
1~15(0.5m単位で設定可)
 
250
230
600
250
なし
40
1800(左記速度での直線動作精度 ±3mm)(*3)
1100
土0.1
土0.5
なし
7.5
なし
3.75
3.6(*7)
180
25土5
約330
床置き
水平多関節形
床置き
前後引抜き1752mm(オフセット450mm位置)
クリーン仕様
スタンドアロン
大型基板搬送
  • 先頭 先頭
  • 前 前
  • 次 次
  • 最後 最後

*注:2015年10月に生産終了しております。(代替機種:無し)

*1:J1、J2、J4 軸の速度がガラス移載動作時での仕様です。通常の水平関節型ロボットのようにアームを旋回する動作では、可搬質量と速度を変更する必要があります。

*2:前後引抜き速度は、J1 軸中心より450mm 以上離れた位置での最大値です。450mm 未満ですとこの値より小さくなります。

*3:直線動作精度は速度域により変化しますので、ご使用にあたっては、プログラムのACCEL 命令で加速度と減速度の割合を設定ください。( 測定条件: J4 軸回転中心から約1600mm 離れた点の値)

*4:位置繰り返し精度は、JISB8432 に準じます。

*5:流速0.3m/s のダウンフローのある環境下で、ロボット据付面より800mm 以上の位置での値です。

*6:真空流量180リットル/min で、J1,J2,J4,J5 軸部内部の吸引が必要です。

*7:J3 軸下部より流量3.6m3/min で排気しますので、設置場所には排気孔、経路を確保してください。