試験用 MELFA RH-1000GHLC/RH-1000GJLC（大型基板搬送用） 仕様
仕様
| 分類 | ||
| シリーズ | ||
| 形名 | ||
| 環境仕様 | ||
| 構造 | ||
| 動作自由度 | ||
| 上下動作範囲 | mm | |
| 可搬質量 | kg | |
| 対象基板サイズ | mm | |
| 駆動方式 | ||
| 位置検出方式 | ||
| ブレーキ | ||
| 動作範囲 | ||
| 第1アーム（J1） | 度 | |
| 第2アーム（J2） | 度 | |
| 上下軸（J3） | mm | |
| 手首旋回（J4） | 度 | |
| 手首曲げ（J5） | 度 | |
| 前後（J1,J2,J4） | mm | |
| 走行（特殊仕様）（J8） | m | |
| 動作速度（*1） | ||
| 第1アーム（J1） | 度/s | |
| 第2アーム（J2） | 度/s | |
| 上下軸（J3） | mm/s | |
| 手首旋回（J4） | 度/s | |
| 手首曲げ（J5） | 度/s | |
| 前後（J1,J2,J4） | mm/s | |
| 走行（特殊仕様）（J8） | mm/s | |
| 位置繰り返し精度（*4） | 本体J1～J5 | mm |
| 走行（特殊仕様）（J8） | mm | |
| 許容トルク | 手首曲げ（J5） | Nm |
| 許容イナーシャ | 手首曲げ（J5） | Nm2 |
| 排気流量（ダスト吸引）（*6） | 真空吸引 | リットル/min |
| 周囲温度 | ℃ | |
| 本体質量 | kg | |
| 据付姿勢 | ||
| 接続コントローラ | ||
| タイプ1 | ||
| タイプ2 | ||
| 最大リーチ半径[mm] | ||
| 特別仕様 | ||
| 用途 | ||
ロボット本体（大型基板搬送用） |
|
RH-Gシリーズ (生産終了) |
|
クリーン：クラス10 (0.3μm)（*5） |
|
水平多関節形 |
|
4軸 |
5軸 |
1200 |
|
最大15 （含ハンド） |
|
最大1100×1100 |
|
ACサーボモータ |
|
アブソリュートエンコーダ |
|
全軸電磁ブレーキ |
|
－190～＋130 |
|
＋160 |
|
0～1200 |
|
±240 |
|
なし |
±5 |
1720（オフセット450mm位置） |
|
1～15（0.5m単位で設定可） |
|
250 |
|
230 |
|
700 |
|
250 |
|
なし |
40 |
1800（左記速度での直線動作精度 ±3mm）（*3） |
|
1100 |
|
土0.3 |
|
土0.5 |
|
なし |
7.5 |
なし |
3.75 |
180 |
|
25土5 |
|
約590 |
|
床置き |
|
水平多関節形 |
|
床置きタイプ |
|
第1アーム：500mm、第2アーム：500mm |
|
クリーン仕様 |
|
特定用途なし |
|
＊注：2015年10月に生産終了しております。
＊1：J1、J2、J4 軸の速度がガラス移載動作時での仕様です。通常の水平関節型ロボットのようにアームを旋回する動作では、可搬質量と速度を変更する必要があります。
＊2：前後引抜き速度は、J1 軸中心より450mm 以上離れた位置での最大値です。450mm 未満ですとこの値より小さくなります。
＊3：直線動作精度は速度域により変化しますので、ご使用にあたっては、プログラムのACCEL 命令で加速度と減速度の割合を設定ください。( 測定条件： J4 軸回転中心から約1600mm 離れた点の値)
＊4：位置繰り返し精度は、JISB8432 に準じます。
＊5：流速0.3m/s のダウンフローのある環境下で、ロボット据付面より800mm 以上の位置での値です。
＊６：真空流量180リットル/minで，J3全軸部分の内部吸引が必要です。
