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Factory Automation

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RH-1500GC-SB/SA

仕様

分類
シリーズ
製品形名
環境仕様
タイプ(=構造)
動作自由度
上下動作範囲 mm
可搬質量(*4) kg
対象基板サイズ mm
駆動方式
位置検出方式
ブレーキ
動作範囲    
第1アーム(J1)
第2アーム(J2)
上下軸(J3) mm
手首旋回(J4)
手首曲げ(J5)
手首捻り(J6)
前後引抜ストローク mm
走行(特殊仕様)(J8) m
動作速度(*1)    
第1アーム(J1) 度/s
第2アーム(J2) 度/s
上下軸(J3) mm/s
手首旋回(J4) 度/s
手首曲げ(J5) 度/s
手首捻り(J6) mm/s
前後引抜速度(*2) mm/s
走行(特殊仕様)(J8) mm/s
位置繰り返し精度 mm
許容トルク 手首曲げ(J5) Nm
手首捻り(J6) Nm
許容イナーシャ 手首旋回(J4) Nm2
手首曲げ(J5) Nm2
手首捻り(J6) Nm2
排気流量(ダスト吸引)(*6) リットル/min
周囲温度
本体質量 kg
走行質量 kg
接続コントローラ
構造
据付姿勢
最大リーチ半径[mm]
環境仕様
制御形態
用途
ロボット本体(大型基板搬送用)
RH-Gシリーズ (生産終了)
クリーン(*5)
-SB:クラス100 (0.5μm)
-SA:クラス10 (0.3μm)
水平多関節形
6軸
1200
最大40(含ハンド)
最大1200×1500
ACサーボモータ
アブソリュートエンコーダ
全軸電磁ブレーキ
 
-185~+140
+150
0~1200
±240
±5
±95
2200(オフセット500mm位置)
1~10(0.5m単位で設定可)
 
135
135
700
135
35
100
1100(*3)
1000
土0.5
352
78
40.2
34.3
2.7
-SB:なし
-SA:クラス180
25土5
約670
移動部分:250kg/固定部分:340kg/m
水平多関節形
床置き
前後引抜き2262mm(オフセット500mm位置)
クリーン仕様
スタンドアロン
大型基板搬送
  • 先頭 先頭
  • 前 前
  • 次 次
  • 最後 最後

*注:2015年10月に生産終了しております。(代替機種:無し)

*1:J1、J2、J4 軸の速度がガラス移載動作時での仕様です。通常の水平関節型ロボットのようにアームを旋回する動作では、可搬質量と速度を変更する必要があります。
J1,J2,J4 が複合動作する場合 は、各々65度/sとする必要があります。

*2:前後引抜速度は、J1 中心より500mm 以上離れた位置での最大値です。500mm 未満ですとこの値より小さくなります。

*3:直線動作精度は速度域により変化しますので、ご使用にあたっては、プログラムのACCEL 命令で加速度と減速度の割合を設定ください。

*4:可搬質量と重心位置の関係は、標準仕様書「2.1.3 可搬仕様」を参照願います。

*5:流速0.3m/s のダウンフローのある環境下で、ロボット据付面より800mm 以上の位置での値です。

*6:真空流量180リットル/minで,J1 ~ J6 全軸部分の内部吸引が必要です。