試験用 MELFA RH-1000GHLC/RH-1000GJLC(大型基板搬送用) 特長
基本情報
特長
大型基板への対応
大型液晶基板(最大1100mm×1100mm)に対応し、高可搬質量および高速動作が可能です。
平行配置によるシンプルレイアウト
たわみ補正機能を装備(一部機種オプション)し,据置型で2個平行配置のカセットの基板搬送が可能です。
多彩なレイアウトバリエーション
走行軸(オプション)を採用すれば走行軸周りに複数個配置したカセットへのアクセスが可能です。
立上げ支援用ソフトウェア
仕様検討から設計・立ち上げ・運用・保守まで、幅広い段階を支援します。
(RT ToolBox2:プログラミング&エンジニアリング支援ソフトウェア(オプション))