基本情報
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特長
大型基板対応
基板サイズ：最大1200×1500mmに対応 大型基板搬送用ロボット。
(代替機種:無し)
多彩なレイアウトバリエーション
据置型で2個平行配置のカセットの基板搬送が可能。走行軸(オプション)を採用すれば走行軸周りに複数個配置したカセットへのアクセスが可能。
たわみ補正機能を装備(一部機種オプション)。
基板サイズ：最大1200×1500mmに対応 大型基板搬送用ロボット。
(代替機種:無し)
据置型で2個平行配置のカセットの基板搬送が可能。走行軸(オプション)を採用すれば走行軸周りに複数個配置したカセットへのアクセスが可能。
たわみ補正機能を装備(一部機種オプション)。