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Factory Automation

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RH-1500GVC-SB/SA

基本情報

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形名 RH-1500GVC-SB/SA
概要 基板サイズ:最大1200×1500mmに対応 大型基板搬送用ロボット。RH-1000Gの上位機種。
(代替機種:無し)
対応コントローラ CR4-533CB
発売状況 生産終了
生産終了日 2015年10月
修理対応期限 2022年10月

特長

大型基板対応

基板サイズ:最大1200×1500mmに対応 大型基板搬送用ロボット。
(代替機種:無し)

多彩なレイアウトバリエーション

据置型で2個平行配置のカセットの基板搬送が可能。走行軸(オプション)を採用すれば走行軸周りに複数個配置したカセットへのアクセスが可能。
たわみ補正機能を装備(一部機種オプション)。