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電子ビーム加工機(EBM)電子ビーム加工機(EBM)   特長

基本情報

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形名電子ビーム加工機(EBM)
EBM-6LB-2VR-C3023(インデックスタイプ)
EBM-6LB-1VR-C100100(汎用タイプ)
EBM-30HB-1VR/L-G2.25(高電圧タイプ)
概要精密溶接、合金化、表面改質から、ろう付けにまで威力を発揮。
銅やアルミなどの高反射材、タングステンやモリブデンなどの高融点材の加工に威力を発揮。
三菱電機は自動車製造など各種工業分野、研究機関等に豊富な実績を持つ、電子ビーム加工機のトップメーカーです。
また、現在ではIT産業などの先端分野にも着実に拡がっています。

特長

加工の未来を切り拓く、電子ビーム

自動車部品の溶接加工に最適なインデックスタイプ
■FAラインでの使い勝手の良さを極めたベストセラー機です。
■電子銃縦取付タイプと横取付タイプがあります。

高生産性を実現したツインチャンバータイプ
■1つの電子銃を2つの加工室で共用することにより、生産性アップを実現したモデルです。
■シャフト付ワークにも対応できる高生産機です。
■動作原理
 ・加工室を2つ並列させて、一方の加工室内での溶接完了後、直ちに他方向の加工室へ電子銃が移動し、溶接を開始します。

真空排気時間ゼロの画期的な電子ビーム加工機カセットタイプ
■予備排気方式により、真空排気時間が全くサイクルタイムに影響しない画期的な電子ビーム加工機です。
■加工室内は常に真空に保たれているので、加工がより安定します。
■カセット内にワークを収納し、カセットを搬入→加工→搬出させる、カセットタイプです。
■動作原理
 ・カセットチューブの中をカセットがOリングでシールされながら移動します。
 ・加工室の手前でカセット内は予備排気され、加工室に移送された時は、カセットは所定の真空圧力になっています。
 ・ワークは、カセット内に収納されています。

センサー部品の溶接加工に最適なシャトルタイプ
■予備排気方式を採用しながら、シンプルな機器構成でコンパクトな高生産性マシンを実現しました。
■加工室内は常に真空に保たれているので、加工がより安定します。
■多数個取付け治具を使えば、更に生産性が向上出来ます。
■ダイヤフラム、ベローズ、アルミピストン等の量産加工に多くの実績があります。
■ワークツーリングを、シャトルトランスファー方式としたセンサー部品の溶接加工に最適なシャトルタイプです。

多品種、小ロット、試作用途に最適な汎用タイプ
■コンパクトな設備ながら、電子ビームならではの高品位加工が実現出来ます。
■多品種少ロット生産向きです。
■試作の多いジョブショップや研究機関、教育機関にも最適です。
■加工室サイズは□500~1500mmの範囲でバリエーションがあり、特殊サイズも対応可能。
■加工室内に、X-Yテーブルを搭載。

電子デバイスのパッケージ封止に最適な微細接合タイプ
■電子デバイスの真空封止に最適な、微細接合タイプです。
■デバイスに与える熱影響を最小に抑えた封止が実現できます。
■多数個一括加工により、タクトタイム1s/個以下の高生産性を実現します。

「ひずみ」と「スパッタ」を低減し、高品位溶接を実現するFine Process Controlタイプ
■出力波形を制御することで、熱影響を抑え、歪みが小さな加工を実現します。
■出力波形を最適化することで、溶接時に発生するスパッタを低減し、品質の高い加工を可能にします。
■熱伝導率が高く、低入熱加工が困難な銅の加工や熱によってダメージを受けやすい小型部品の加工に適しています。
■Fine Process Controlタイプは、インデックスタイプ、汎用タイプ等の電子ビーム加工機のビーム制御機能能力を、大幅にUPした製品です。

高電圧タイプで重厚長大なワークを1パス溶接が可能に
■高電圧・大出力電子ビーム加工機が、低ひずみ厚肉溶接を実現します。
■当社独自の棒状陰極により、調整レスで安定した溶接品質を維持します。
■充実したオプション機能により、生産性と溶接の信頼性を向上いたしました。
■標準として、低出力・高出力の2タイプを準備しています。
 ・低出力・・・ビーム出力:6kW 加速電圧:150kV
 ・高出力・・・ビーム出力:30kW 加速電圧:150kV
■高出力の高電圧タイプは、汎用タイプ電子ビーム加工機のビーム出力、ビーム加速電圧を、大幅にUPした製品です。

製品詳細ムービー

インデックスタイプの動作ムービーがご覧いただけます。

ツインチャンバータイプの動作ムービーがご覧いただけます。

カセットタイプの動作ムービーがご覧いただけます。

シャトルタイプの動作ムービーがご覧いただけます。

汎用タイプの動作ムービーがご覧いただけます。