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Factory Automation

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ラインアップ

マルチワイヤ放電スライス加工機

マルチワイヤ放電スライス技術が、加工現場に革新をもたらす

世界驚愕のスライス技術搭載
マルチワイヤ放電スライス加工機

■4インチの高硬度なSiCやGaN素材を同時に20枚加工可能なマルチワイヤ放電加工システム*

  • ・ワイヤを最小600μm間隔で周回させ、薄肉スライス加工可能(ウエハ厚さ:約440μm)
  • ・放電による非接触加工のため、材料割れ・ダメージ層を抑制し、素材損傷を最小化

■ウエハスライス専用のマルチ放電加工電源

  • ・多並列ワイヤ個々に、独立してエネルギーを供給することにより、マルチスライス速度を大幅向上*
  • ・専用高周波電源の開発により、φ0.1mmの細線ワイヤ電極でも断線なく連続加工可能

■ランニングコストと環境負荷の低減

  • ・ダイヤモンド砥粒を使用しない安価なワイヤ電極の採用と省エネルギー電源によりランニングコストを大幅削減
  • * 標準:10並列加工仕様 オプション:20並列加工仕様