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SSCNETⅢ/H対応リニアステージ τリニアステージ
■サーボ制御技術との融合で高性能ステージを実現
◎リニアサーボ搭載の高精度ステージ。X/XY軸ステージの他、高精度ダイレクトドライブモータτDISCを搭載したXθ/XYθ軸ステージもラインアップ。
多ヘッドステージ、XYZ軸ステージ等カスタムメイドにも対応。
◎速度変動率性能の保証対応、レーザー測定補正データを用いた位置決め精度保証、ユーザー要求動作仕様の確認と設定対応も可能。
◎SSCNETⅢ/H対応高性能サーボドライバ VPH-HBタイプをラインアップ。
CKD日機電装株式会社
◎リニアサーボ搭載の高精度ステージ。X/XY軸ステージの他、高精度ダイレクトドライブモータτDISCを搭載したXθ/XYθ軸ステージもラインアップ。
多ヘッドステージ、XYZ軸ステージ等カスタムメイドにも対応。
◎速度変動率性能の保証対応、レーザー測定補正データを用いた位置決め精度保証、ユーザー要求動作仕様の確認と設定対応も可能。
◎SSCNETⅢ/H対応高性能サーボドライバ VPH-HBタイプをラインアップ。
更新日：2019/10/24
